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SK머티리얼즈, 불화수소 국산화 성공 배경은
정혜인 기자
2020.06.17 10:09:54
소재 국산화 첫 성과…불화아르곤 포토레지스트 등 고부가 소재 생산
이 기사는 2020년 06월 17일 10시 09분 유료콘텐츠서비스 딜사이트 플러스에 표출된 기사입니다.

[딜사이트 정혜인 기자] SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다. 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로, 해외 제품에 100% 의존해 왔다. 하지만 일본의 수출 규제 등으로 자체 기술개발에 심혈을 기울인 끝에 첫 국산화라는 성과를 이루게 됐다. 


SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 성공한 후, 경북 영주 공장 내 15톤 규모의 생산시설을 건설했다. 이번 양산을 시작으로 2023년까지 국산 비중을 70%까지 끌어올리겠다는 방침이다. 


SK그룹 관계자는 "불화수소와 함께 고부가 포토레지스트도 국산화 할 계획"이라며 "최근 하드마스크(SOC)와 부로하아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나섰다"고 강조했다. 


업계에 따르면 불화아르곤 포토레지스트의 해외 의존도는 90%다. SK머티리얼즈는 2021년 생산시설을 준공하고 2022년부터 연 5만갤런 규모의 포토레지스트를 생산하겠다는 방침이다. 

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SK실트론도 지난해 미국 듀폰사로부터 전기 자동차에 필수적으로 사용되는 소재인 차세대 전력 반도체용 실리콘카바이드(SiC) 웨이퍼 사업을 인수했다. 실리콘카바이드 웨이퍼는 미국·유럽의 소수 업체가 글로벌 시장을 과점하고 있다.  


SK그룹은 소재 국산화를 위해 중소기업과의 협력도 확대하겠다는 방침이다. SK하이닉스는 총 4000억원 규모의 상생펀드를 조성해 협력사들에 저금리 융자를 제공하고 있다. SK그룹 내 소재사들은 중소 협력사들이 고부가의 고순도 가스를 정제하는 과정에서 필요로 하는 기술 및 노하우를 공유할 예정이다. 


SK머티리얼즈는 지난해 11월 경북 영주 본사에 연구개발(R&D) 시설인 '통합분석센터'를 설립하고, 한국표준과학원 등 연구기관들과 함께 중소기업들에 분석 서비스를 제공하기 위한 준비작업에 돌입했다. 


SK그룹 관계자는 "투자비나 전문 인력 확보 측면에서 어려움을 겪는 중소기업들에 SK가 보유한 노하우를 공유해 업계 전체가 발전하도록 도울 것"이라며 "중소기업 상생 협력을 강화해 국내 반도체 산업 경쟁력을 제고하고 고용 창출 효과에도 기여하겠다"고 밝혔다.

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