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시노펙스, 반도체 PR 공정용 100나노급 필터 국산화
강동원 기자
2022.10.04 10:07:34
미국·일본 수입의존 품목 대체 기대…4~7일 스마트비즈 엑스포서 공개
시노펙스 본사. (출처=시노펙스)

[딜사이트 강동원 기자] 시노펙스는 전량 수입에 의존하던 '100나노급 UPE 필터'의 국산화에 성공했다고 4일 밝혔다.


시노펙스가 개발한 UPE 필터는 반도체 생산 핵심공정인 포토레지스트(PR) 공정에 투입, PR케미컬의 불순물을 걸러주는 역할을 수행한다. 그동안 전량 미국과 일본 수입에 의존해왔으나 시노펙스는 ▲100나노급 미세 기공 사이즈 구현 ▲멤브레인 강화기술 ▲리스크 예방 기술 등을 적용해 자체기술로 개발하는 데 성공했다.


제품은 이날부터 코엑스에서 개최되는 스마트비즈엑스포(10월4일~7일)에서 공개할 예정이다. 시노펙스는 100나노급 UPE 필터 국산화 성공을 계기로 오는 2023년에는 50나노급 UPE 필터를 개발해 업계 선두 경쟁력을 강화해 나간다는 전략이다. 시노펙스는 현재 전처리 공정에 사용하는 POU필터, CMP 필터를 국산화해 삼성전자에 공급하고 있다.


노시갑 시노펙스 부사장은 "지속적인 기술 개발을 통해 반도체 생산에 가장 핵심으로 분류되는 PR 공정용 필터 국산화에 성공했다"며 "핵심필터 국산화를 통해 한국 반도체 산업경쟁력 강화에 일조할 수 있게 됐다"고 말했다.


한편 시노펙스는 첨단 반도체 생산라인에 사용되는 고성능 필터를 마스크에 적용한 프리미엄급 제품을 개발해 '시노텍스'라는 브랜드로 판매하고 있다. 100나노급 필터 개발을 기념해 반도체용 필터와 마스크를 함께 전시회에 선보이고 있으며 7일 스마트비즈엑스포 사무국에서 후원하는 네이버 라이브 방송을 통해 할인이벤트를 진행할 계획이다.

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