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신성이엔지, 반도체제조 핵심 공간장비 선봬
김진배 기자
2022.10.05 18:02:44
국내 최초 국산화 성공한 클린룸 핵심장비 FFU 전시
신성이엔지 본사. 사진제공/신성이엔지

[팍스넷뉴스 김진배 기자] 신성이엔지가 국내 반도체 산업 성장에 이바지한 클린룸의 주요 장비를 대거 선보인다.


신성이엔지는 5일 7일까지 서울 코엑스에서 개최되는 '제24회 반도체 대전(SEDEX2022)에 참가한다고 밝혔다. 이번 전시회서는 클린룸 주요 장비를 선보이며 반도체 산업 생태계 발전에 기여해 온 활동상을 소개할 계획이다.


신성이엔지가 국산화에 성공한 FFU. 사진제공/신성이엔지

1977년 설립된 신성이엔지는 반도체 산업의 클린환경을 조성한 기술 선도 기업이다. 지난 1991년 클린룸 주요 장비인 FFU(Fan Filter Unit)를 국산화하는 데 성공했다. 클린룸이란 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간으로, 먼지·온도·습도 등을 완벽하게 제어한다. 산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 효율적으로 제어해 제품의 품질과 생산수율을 높이는 클린룸의 핵심 장비다.


이번 전시회에서는 클린룸의 주요 장비들이 소개된다. FFU외에도 ▲기류 연동 시스템 ▲휘발성 유기화합물 제거 장비(V-master) ▲파티클 가시화 시스템 등이 있다. 모두 공기 제어 기술을 바탕으로 개발된 것으로, 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.

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휘발성유기화합물(VOCs) 제거 장비인 V-master는 신성이엔지가 2005년 개발한 장비다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 VOCs를 95% 이상 제거한다. 반도체·디스플레이 등 초정밀 첨단산업 제조 환경은 용제 등의 이유로 유해물질이 잔존할 수밖에 없는데 이를 제거하기 위한 장비다.


기류 연동 시스템은 클린룸 상부·측면에 설치돼 장비 내부의 압력 유지와 청정한 공기를 공급한다. 공기의 흐름이 역방향으로 흐르게 되면, 내부에 설치된 기류방향표시기가 이를 감지해 FFU와 EFU(Equipment Fan-filter Unit) 팬 회전율을 높여 기류가 정방향으로 흐를 수 있도록 한다.


파티클 가시화 시스템은 반도체 공정 중에 발생하는 불량을 발생시키는 파티클(먼지)를 가시화해 오염 원인을 파악하고 해결책을 직관적으로 도출하는데 사용된다.


신성이엔지 관계자는 "당사는 1980년대 국내 반도체 산업이 태동하던 시기 클린룸 국산화를 성공시키며 관련 산업이 성장할 수 있는 밑거름 역할을 했다"며 "이번 전시회를 통해 클린룸에 구성된 주요 장비와 관련 기술을 소개할 수 있어 기쁘다"고 말했다.

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