[딜사이트 이수빈 기자] 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 경기도 화성에서 반도체 클러스터 건립을 위한 첫 삽을 떴다.

ASML은 경기도 화성에서 반도체 클러스터 '뉴 캠퍼스' 기공식을 열었다고 16일 밝혔다. ASML은 2024년 말까지 2400억원을 투입해 뉴 캠퍼스를 완공한다는 계획이다. 뉴 캠퍼스에는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비와 관련한 부품 등의 재(再)제조센터와 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어선다.

ASML은 미세공정에 사용되는 극자외선(EUV) 노광장비를 독점생산하고 있어 '슈퍼 을'로 불린다. 이 때문에 뉴 캠퍼스가 완공되면 삼성전자와 SK하이닉스 등 국내 반도체 기업들이 장비 공급망을 더욱 안정적으로 확보할 뿐만 아니라 ASML과 보다 긴밀한 협력을 이어갈 것으로 기대된다.

앞서 베닝크 CEO는 15일 서울 삼성동에서 열린 기자간담회에서 "자사가 한국에 재제조센터와 트레이닝 센터를 짓는 건 삼성전자, SK하이닉스 등 한국 고객과 더 가까워 진다는 의미"라면서 "한국 고객 비즈니스가 급격히 성장하고 있는 가운데 이번 투자는 시작일 뿐"이라고 말했다. 또한 그는 "향후 한국에서 연구개발(R&D)센터를 늘려나갈 것"이라고 밝혔다.

베닝크 CEO는 이번 방한 기간 이재용 삼성전자 회장을 만나 협력 방안을 논의할 것으로 알려졌다.