테스, 반도체 장비에 관련 특허 취득
[배요한 기자] 테스는 반도체 ALD(Atomic layer deposition; 원자층 증착)장비에 적용되는 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
회사측은 이번 특허에 대해 "증착 시간을 현저히 줄일 수 있으며 박막증착장치의 설치면적(footprint)을 감소시키고, 나아가 기판 처리량(throughput)을 향상시킬 수 있다"고 설명했다.
이어 특허 활용계획에 대해서는 “신제품 개발 적용 및 기존 제품 경쟁력 강화”라고 밝혔다.
ⓒ새로운 눈으로 시장을 바라봅니다. 딜사이트 무단전재 배포금지
