[딜사이트 김가영 기자] 네덜란드 출장을 마치고 15일 귀국한 이재용 삼성전자 회장이 ASML과의 반도체 업무 협약을 이번 출장의 가장 큰 성과라고 밝혔다.

이 회장은 지난 11일부터 3박 5일간 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈 방문에 동행한 후 이날 오전 7시 서울김포비즈니스항공센터(SGBAC)로 경계현 삼성전자 DS부문장(사장) 등과 함께 귀국했다. 이날 이 회장은 출장 성과에 대한 취재진의 질문에 "반도체가 거의 90%였다"라고 밝혔다.

앞서 지난 12일(현지시간) 삼성전자와 ASML은 네덜란드 ASML 본사에서 진행된 한-네덜란드 반도체 협력 협약식에서 업무협약(MOU)을 맺고 약 1조원을 투자해 국내에 차세대 노광장비 개발을 위한 극자외선(EUV) 공동 연구소 설립을 추진하기로 했다.

ASML은 전 세계에서 유일하게 EUV 노광장비를 생산하는 기업이다. EUV 1대당 약 2000억원에 달할 정도로 고가이지만 연간 약 50대만 생산해 반도체 생산 기업들이 장비 수급을 위해 줄을 서고 있다.

출장에 동행한 경계현 사장 역시 출장 성과를 묻는 취재진의 질문에 "여러 툴(장비)이 있지만 EUV가 가장 중요한 툴이기 때문에 전체적인 반도체 공급망 입장에서 굉장히 든든한 우군을 확보했다"고 말했다.

특히 ASML이 조만간 출하할 차세대 장비인 '하이 NA EUV'에 대한 기술적 우선권을 갖게 됐다는 설명이다. 하이 NA EUV 장비는 1나노미터(nm, 1nm=10억분의 1ｍ) 공정의 핵심 장비다.

경 사장은 "장기적으로 D램이나 로직에서 하이 NA EUV를 잘 쓸 수 있는 계기를 만들지 않았나 생각한다"라며 "이번 협약은 경기도 동탄에 공동 연구소를 짓고, 거기서 하이 NA EUV를 들여와서 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어들이 같이 기술 개발하는 것이 주목적"이라고 설명했다. 

이어 "경쟁사보다 EUV를 빨리 들여올 수 있게 되나"라는 취재진의 질문에 대해 경사장은 "장비를 빨리 들여온다는 관점보다는 공동 연구를 통해 삼성이 하이 NA EUV를 더 잘 쓸 수 있는 협력관계를 맺어가는 게 더 중요하다"고 덧붙였다.