[딜사이트 김가영 기자] 극자외선(EUV)장비 공급 업체인 ASML이 삼성전자와 1조원 규모의 MOU(업무협약)을 맺고 R&D센터 설립에 나섰지만 제조 공장으로 증설할 가능성은 사실상 '0%'에 가깝다는 의견이 나왔다. 모듈식으로 설계된 장비 특성상 부품 제조 기업들이 유럽 전역에 산재돼 있고 전문 인력을 국내로 데려오는 것도 불가능하기 때문이다. 대신 R&D센터를 통해 삼성전자와 함께 차세대 장비 활용을 위한 공동 연구를 진행할 계획이다. 

ASML은 웨이퍼에 미세한 회로를 새기는 EUV 장비를 전세계에서 유일하게 생산하는 기업으로 반도체 업계에서는 '슈퍼 을(乙)'로 통한다. 특히 차세대 EUV장비인 '하이 뉴메리컬어퍼처(이하 하이 NA EUV)'는 한 대당 6000억원에 이를 정도로 고가이며 1년에 10대 정도밖에 생산되지 않지만 2㎚(나노미터·10억분의 1m) 미만의 미세 공정 구현에 반드시 필요하다. 이 때문에 주요 반도체 기업들은 이 장비의 초기 물량을 확보하기 위해 치열한 물밑 경쟁을 벌이고 있다.

무겁고 섬세한 EUV 장비 특성 때문에 반도체 업계에서는 ASML이 국내를 포함한 동아시아에 생산 거점을 둘 것이라는 예상이 나왔다. 이 장비 한 대의 크기는 50평(165.29㎡)에 달하고 높이는 13~15미터, 무게는 180톤에 육박한다. 항공기에 싣기 어려워 선박을 통해 들여와야 하며, 13개의 트럭 크기의 컨테이너와 250개의 상자가 필요한 것으로 알려졌다. 하이 NA EUV는 이보다도 더 크다. 배송 시 흔들림이나 먼지 투과도 방지해야 하기 때문에 포장과 운송 과정도 까다롭고, 조립 시 반드시 전문가가 참여해야 한다. 

삼성전자와 SK하이닉스, TSMC등 ASML의 주요 고객사들은 동아시아에 위치하고 있다. 그런데 ASML의 본사가 네덜란드에 위치해있어 고객사까지 운송하는 데 상당한 비용과 시간이 투입된다. 만약 배송이나 조립 과정에 문제가 발생하면 새로 장비를 들여와야 하는데, 새로 제작한다고 해도 언제 수령할 수 있을지 알 수 없다. 제조 기술이 워낙 까다롭고 복잡해 1년에 생산할 수 있는 수량이 한정돼있기 때문이다. ASML이 동아시아에 생산 거점을 두는 것이 지리적으로는 유리한 셈이다.

특히 지난해 12월 삼성전자와 ASML이 합작해 경기도 화성시에 R&D센터를 개소한다는 소식이 알려지면서 이와 같은 의견에 불을 지폈다. 이미 국내에도 2000명이 넘는 ASML코리아 임직원들이 있어 일부 업계 관계자들은 향후 R&D센터가 공장으로 확대될 수 있다는 가능성을 제기했다.

그러나 ASML이 네덜란드를 벗어나 생산 거점을 옮기는 것은 불가능할 것으로 관측된다. ASML 관계자는 "ASML 본사는 네덜란드이지만 EUV 장비는 구성하는 모듈은 독일 등 유럽 전역에서 생산된다, 1년 이상 교육을 받은 전문 엔지니어들이 조립을 해야 한다"며 "한국에 제조 공장을 마련하긴 어려울 것"이라고 말했다.  

이에 따라 삼성전자와의 합작 R&D센터는 하이 NA EUV 장비를 활용해 첨단 반도체를 개발하는 연구에만 집중할 것으로 보인다. ASML 관계자는 "하이 NA EUV는 워낙 고가인데다 먼지 한 개만 들어가도 작동이 불가능할 정도로 섬세한 장비이기 때문에 제대로 활용하지 못하면 제 기능을 발휘하지 못할 수 있다"며 "장비 활용 방안을 연구하는 것도 큰 의미가 있다"고 전했다.

국내에 연구소를 개소한다고 해도 장비를 먼저 공급받을 수는 없다는 점도 분명히 했다. 이 관계자는 "하이 NA EUV의 첫번째 모듈이 지난해 12월에 인텔에 처음 출하됐다"라며 "발주를 넣는 순서대로 공급을 받을 수 있다"고 말했다. 삼성전자는 오는 2027년 이 장비를 수령할 예정이다.

한편 R&D센터 설립은 원활히 진행되고 있다. 이우경 ASML코리아 사장은 지난달 31일 '세미콘코리아 2024 인더스트리 리더십 디너'에 참석해 "ASML코리아 화성 뉴 캠퍼스 인근 부지를 새롭게 확보했고 내년 착공할 것"이라며 "준공쯤 (하이 NA EUV) 장비 반입을 예정하고 있고 그 시기를 늦어도 2027년으로 보고 있다"고 했다. 이어 "R&D센터는 하이 NA EUV 장비 반입을 위해 짓는 것이고 이에 필요한 건물·장비에 든 비용은 1조5000억원 상당"이라며 "건설을 위해 기존 계획의 2배 상당 면적의 부지를 매입했고 최근 전력 공급 문제도 해결했다"고 부연했다.